微型机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem)，又称微型电子学系统，微型系统，微型机械等，是指高科技设备，其尺寸可达几毫米甚至更小。微型机电系统的内部结构一般为微米甚至纳米级，是一个独立的智能系统。它主要包括传感器、动作装置(驱动器)和微型能量源三大部分。
MEMS传感器的概念、相关产业政策及分类应用
微机电系统是一种集微传感器、微执行机构、微机械结构、微电源、微能量、信号处理与控制电路、高性能电子集成器件、接口、通讯于一体的微型设备或系统。具备小型化，智能化，多功能，高集成度，适合大规模生产等基本特点。
微机电技术是一门革命性的新技术，广泛应用于物联网等高新技术领域，是关系到国家科技进步、经济繁荣和国防安全的关键技术。MEMS就包含在集成电路的规划纲要中。
与MEMS相关的工业政策。
近几年来，中国发展智能传感器产业成为国家战略。中国的MEMS传感器市场需求旺盛，近年来随着一系列政策的频繁出台和下游3C产品、汽车电子等行业的迅速发展，其市场份额在各年度继续保持着高速增长的态势，惯性传感器、压力传感器、传声器等领域也呈逐年增长的趋势。
MEMS的主要分类及其应用。
MEMS传感器的种类很多，分类方法也很多。根据其工作原理，大致可分为物理、化学和生物MEMS传感器，其中每种MEMS传感器又可分为许多小类，不同的MEMS传感器可以测量不同的量，实现不同的功能。MEMS传感器主要有运动传感器，压力传感器，传声器，环境传感器，光传感器等。这些传感器包括陀螺仪，加速度计，磁力计等。
就产品结构而言，MEMS传感器目前居世界前五位，射频、压力、麦克风、加速器和陀螺仪占了近65%，而中国市场则排在射频、压力、麦克风、惯性和加速器之后，类似于全球市场。
