一、国内MEMS传感器厂商面临的机遇。

当前，国内MEMS传感器厂商整体规模不大。除了歌尔和瑞声年营收超过1亿美元，美新半导体、美泰科技、芯奥微等本土MEMS传感器厂商的年营收都不足6000万美元，整体规模不大。此外，国内厂商所经营的产品种类比较单一，产品线多为单片、多为组件提供，解决方案的供应能力较差。与之相比，国际巨头Invensense、英飞凌等国外厂商有2-3条产品线，博世、电装、意法半导体等MEMS产品线超过4条，并具备集成解决方案供应能力。与此相反，小供应商难以在较短时间内实现大规模生产，因此排名靠前的大供应商的市场占有率相对稳定，市场集中度也较高。

二、国内MEMS传感器发展前景展望。

(1) MEMS与传感器呈现出多功能高度集成与结合的趋势。随着设计空间、成本和功耗预算的不断压缩，将多种敏感元件集成到同一基片上，制造能检测多个参数的多功能组合MEMS传感器成为了一个重要解决方案。

(2) 传感器的智能化和边缘计算。在MEMS传感器领域，软件已经成为其重要组成部分，随着多种传感器进一步集成，需要处理的数据越来越多，软件实现了多种数据融合。MEMS产品的发展必然以系统应用为起点，以软件融合为手段，开发智能传感器，促进人工智能在传感器领域的广泛应用。

(3) 传感器的低功耗和自供能量需求日益增长。由于物联网等应用对传感器的需求迅速增长，传感器的使用量急剧增加，能源消耗将会加倍。减少传感器的功耗，利用环境能量采集来实现自供，提高续航能力的需求将伴随传感器的发展而不断增加。

(4) MEMS向NEMS的演变。在微加工技术，尤其是纳米加工技术迅速发展的今天，随着终端设备的小型化和多样化，由智能传感器向小型化发展已是一种趋势。类似于MEMS,NEMS(纳机电系统)是一种专注于纳米领域的纳系统技术，只是体积较小。

(5) 敏感新材料的出现。膜式压电材料具有工艺一致性好、可靠性高、良率高、面积小等特点，可应用于MEMS执行机构、音箱、触觉、触控界面等领域。今后MEMS器件的驱动方式将从传统的静电梳齿驱动方式转变为压电驱动方式。

(6) 晶片尺寸较大。与目前业界普遍采用的6、8英寸晶圆制造工艺相比，较大的晶圆尺寸可以在很大程度上降低成本，提高产量，而且晶圆尺寸的扩大与晶片特征尺寸的缩小相互促进，相互促进。以12英寸晶圆工艺线为例，MEMS产品已经出现。

目前，MEMS传感器已广泛应用于消费电子、汽车、工业、医疗、通信等领域，随着人工智能和物联网技术的发展，MEMS传感器的应用领域也将越来越广泛。MEMS传感器是人工智能最基本的硬件设备之一，传感器采集的数据越丰富、越准确，人工智能就能发挥更大的作用。感知、连接和计算是物联网生态系统的核心，随着网络节点的不断增加，对智能传感器的数量和智能化水平提出了更高的要求。智能家居、工业互联网、汽车联网、智能城市等新兴产业领域，将为MEMS传感器带来更为广阔的市场空间。

由于MEMS传感器得天独厚的优势，它的应用并不局限于可穿戴设备，在未来医疗、人工智能、汽车电子等领域，其底层结构的设计都需要依靠MEMS传感器。

就当前全球发展趋势来看，汽车工业和消费电子市场已十分发达，已成为MEMS传感器发展的基础，未来智能现代化如医疗、人工智能、物联网、智慧城市等趋势明显，MEMS传感器发展潜力巨大。