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智能MEMS传感器产业链逐步拓展,市场应用也越来越广泛
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物联网技术的发展,使MEMS传感器的应用场景更加多样化。MEMS传感器是人工智能最基本的硬件设备之一,传感器采集的数据越丰富、越准确,人工智能就能发挥更大的作用。

一、适用于医学。

采用MEMS传感器检测无创胎心,胎儿心率的检测技术要求很高,由于胎儿心率的快速变化,一般每分钟20~160次左右,而采用传统的听诊器,甚至只采用放大式超声多普勒,人工计数难以准确。而且超声多普勒胎心监护仪具有数字显示功能,价格昂贵,只适用于少数大型医院,在中、小型医院和广大农村地区不能普及。另外,超声振荡作用于胎儿时,会对胎儿产生非常不利的影响。虽然探测剂量很小,但它也属于有损探测范畴,不适用于常规、重复检查和家用。

采用MEMS加速度传感器设计的胎儿心率测试仪,经过适当改进,可以作为胎心远程监测系统的终端。中心信号采集分析监控器由医院端提供自动分析结果,医生对结果进行诊断,如有问题及时通知孕妇到医院。这种方法有助于孕妇随时了解胎儿的情况,有利于胎儿和孕妇的健康。

二、汽车电子应用。

该传感器主要用于测量气囊压力,燃油压力,发动机油压,进气管压力和轮胎压力等。该传感器使用单晶硅作为材料,利用MEMS技术在材料的中间制造出力敏感的膜片,然后在膜片中扩散杂质,形成应变电阻。汽车上使用的MEMS压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式和声表面波式等几种常见形式。但MEMS加速度计的原理是以牛顿经典力学定律为基础的,一般由悬挂系统和检测质量组成,其检测主要是通过硅微块的偏移来实现,主要应用在汽车气囊系统、防滑系统、导航系统和防盗系统等,除了电容式和压阻式外,MEMS加速度计还包括压电式、隧道电流式、谐振式和热电偶等形式。

三、适用于运动追踪系统。

MEMS传感器可用于运动员的日常训练中进行三维人体运动测量,记录每个动作,教练分析结果,反复比较,以提高运动员的成绩。而随着MEMS技术的进一步发展,MEMS传感器的价格也会随之下降,这在大众健身房也能得到广泛应用。

就滑雪而言,压力传感器、加速度传感器、陀螺仪和GPS用于3D运动跟踪,使使用者能够获得非常精确的观测,除了提供滑雪板的运动数据之外,还能记录使用者的位置和距离。对于冲浪也是如此,一个安装在冲浪板上的3D运动跟踪器,可以记录关于波浪高度,速度,冲浪时间,冲浪距离,水温,以及消耗的热量的信息。

智能家居、工业互联网、汽车联网、智能城市等新兴产业领域,将为MEMS传感器带来广阔的市场空间。汉得利旗下元晶电子科技有限公司拥有两个研发机构:MEMS电声、MEMS红外传感器。与此同时,公司投资建设了防静电产品试验室和试验室,并购置了先进的试验设备,大大提高了产品的研究开发和试验水平。我们将紧紧围绕传感器这个核心领域,致力于基于MEMS技术的红外传感器和MEMS电声产品的开发。

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