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MEMS压力传感器是一种基于MEMS工艺和集成电路技术的新型压力测量仪器，具有体积小、成本低、批量生产、精度高等优点，能够满足特别是国防工业领域的电子与工业工程的需要。压力传感器的自动化和软、硬件技术的日趋成熟，将使其走向智能化。
MEMS压力传感器应用较广，几乎涵盖了各个领域。汽车业主要应用于发动机内燃机压力检测，内胎压力检测，气囊压力检测等领域，它是汽车安全的重要组成部分；在医疗市场中，压力感应器主要作为一种一次性的廉价导管用于外科手术，采用正压通气(CPAC)机中感测压力和流量差值。空间上，MEMS压力传感器可以应用于航天器的速度、面压、发动机内压等参数。
压力传感器作为一种重要的传感器，MEMS压力传感器具有突出的优势，它将继续在国民经济中发挥重要作用。所以，我们必须加快MEMS压力传感器的研究进程，针对MEMS压力传感器的特点和现有不足，开展设计研究，注重将科研成果转化为产品。根据未来MEMS压力传感器的发展趋势，本文认为应在以下几方面取得突破：
1)设计新结构。作为压力传感器设计的核心部分，结构设计的好坏直接影响传感器的性能。使用新的结构，增加分辨率、灵敏度，提高测量精度。
2)检验方法研究。现有的压力传感器检测方法都存在非线性，如何有效地改进算法对其进行补偿，是进一步提高压力传感器性能的重要途径。
3)温度补偿技术研究。三种MEMS压力传感器中，温度因素对其性能的进一步提高起到了一定的制约作用。由此，可以采用新的温度补偿算法、非感温设计等方法，有效地减少或消除环境温度对MEMS压力传感器的影响。
