MEMS压力传感器是一种基于MEMS工艺和集成电路技术的新型压力测量仪器,具有体积小成本低批量生产精度高等优点,能够满足特别是国防工业领域的电子与工业工程的需要压力传感器的自动化和软硬件技术的日趋成熟,将使其走向智能化MEMS压力传感器应用较广,几乎涵盖了各个领域汽车业主要应用于发动机内燃机压力检测,内胎压力检测,气囊压力检测等领域,它是汽车安全的重要组成部分在医疗市场中,压力感应器主要作为一种一次性的廉价导管用于外科手术,采用正压通气CPAC机中感测压力和流量差值空间上,MEMS压力传感器可以应用于航天器的速度面压发动机内压等参数压力传感器作为一种重要的传感器,MEMS压力传感器具有突出的优