智能MEMS传感器（微机电系统）是一种采用传统半导体工艺和材料，将微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理与控制电路、高性能电子集成器件、接口、通讯与电源等与微机电系统相结合的装置或系统，具有体积小、成本低、集成度高等特点。
在物联网垂直领域，随着对环境要求的日益迫切，气体传感器作为“三大基石”之一，有望成为第一个落地的亮点应用。而采用MEMS技术的气敏传感器将成为下一代智能手机和可穿戴设备集成的最佳选择。
采用MEMS工艺在Si基片上制备微热板，所用气敏材料为清洁空气中电导率低的金属氧化物半导体材料。在气体环境中，当传感器存在时，传感器的电导率随被测气体在空气中的浓度而变化。气态浓度越高，传感器的电导率越高。
该系列MEMS工艺，结构坚固，抗冲击能力强；具有体积小，功耗低，灵敏度高，响应速度快，驱动电路简单，稳定性好，寿命长的特点。
GM系列MEMS传感器的研制。
有利智能感知，大势所趋。
智能性：作为电子产品的“感知中枢”，通过加入微控制单元和相应的信号处理算法，还可完成自动调零、校验和标定等功能，使终端设备智能化。
高集成度和合成化：由于设计空间、成本和功耗预算的不断压缩，将多种敏感元件集成到同一个基片上，制造出能检测多种参数的多功能组合MEMS传感器成为重要解决方案。
小功率化：随着物联网等应用对传感器的需求迅速增长，传感器的使用量急剧增加，其能耗将会加倍。随着传感器发展的不断深入，MEMS降低功耗、提高续航能力的需求也在不断增加。
MEMS气敏传感器作为信息采集的重要入口，已被广泛应用于安全防护、空气质量、工业安全、健康监测等领域。
智能安全防护方面应用：厨房煤气泄漏、采矿区域、毒气检测法
空气质量方面：空气净化器、暖通空调、新风系统
工业安全方面：油田钻井、冷藏、化工行业
健康监测方面：酒精检测仪、迷你检测仪、健康监测仪
此外，MEMS技术已广泛应用于消费电子、能源、汽车、国防和生物医学等领域，为各行各业提供了自动化、智能化的数据接口，为万物赋灵。
