hljs-center智能MEMS传感器微机电系统是一种采用传统半导体工艺和材料,将微传感器微执行器微机械机构信号处理与控制电路高性能电子集成器件接口通讯与电源等与微机电系统相结合的装置或系统,具有体积小成本低集成度高等特点在物联网垂直领域,随着对环境要求的日益迫切,气体传感器作为三大基石之一,有望成为第一个落地的亮点应用而采用MEMS技术的气敏传感器将成为下一代智能手机和可穿戴设备集成的最佳选择采用MEMS工艺在Si基片上制备微热板,所用气敏材料为清洁空气中电导率低的金属氧化物半导体材料在气体环境中,当传感器存在时,传感器的电导率随被测气体在空气中的浓度而变化气态浓度越高,传感器的电导率越高