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中国智能MEMS传感器产业发展动态
形状
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微机电系统是指一种将微型传感器、执行机构、机械结构、能量来源、信号处理、控制电路、高性能电子集成器件、接口和通讯等功能集成于一体的微米级或纳米级器件或系统。

微MEMS传感器是以微电子技术为基础,运用微电子与微机械加工技术,结合现代信息处理技术,发展起来的多学科交叉前沿研究领域。相对于传统传感器,该传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量生产,易于集成,实现智能化等特点。

在微米量级上的特征尺寸使其能够完成一些传统机械传感器无法实现的功能。自2016年以来,国内传感器技术和产业发展迅猛,在国内物联网、5G、人工智能等技术的推动下,传感器不断向MEMS化、智能化、网络化和系统化发展。

MEMS产业链主要包括设计与研发、生产制造、封装与测试、系统应用四个环节。在MEMS产业链的上游,包括MEMS器件设计、材料和生产设备的研发与供应,中游包括MEMS器件的制造加工与封装测试,下游利用MEMS产品的终端集成化。数据显示,MEMS&传感器的产能将从2019年的390万片/月提高到2023年的470万片/月。

一、微型化在装备小型化、低能耗化的未来,不断缩小尺寸、降低成本是MEMS传感器产业的一个重要发展方向。

随着MEMS传感器产品的下游应用,对产品的轻薄化提出了更高的要求。微机电系统制造商一方面在保证产品性能的基础上,改进封装结构表,缩小器件尺寸,另一方面也同步缩小芯片尺寸,在单片晶圆尺寸固定的情况下,减少芯片尺寸可以提高芯片产量,也能有效降低平均成本。今后,随着MEMS(微型机械机械系统)的规模缩小,MEMS(微型机械机械系统)将逐渐向微型机械机械系统(纳机械系统)发展。

二、一体化。在一种单一设备上携带的多传感器融合与协同传感器逐渐增多,同时开始在传感器之间实现融合与协同(如加速器、陀螺仪、磁力计、IMU组合形成惯性传感器组),以提高信号识别和采集的效果和器件的集成程度。

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