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MEMS技术是及其相关概述
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你想知道在智能手机里有多少独立的部件吗?

加速度表和陀螺仪能检测手机的运动;光敏、温度、压力、湿度传感器测量移动电话的环境;也有RFID、蓝牙、WiFi等连接用的传感器;以及话筒和扬声器。

这类元件大多为微机电系统(MEMS)。MEMS技术将传感器的体积减小、传感器的体积减小,使得物联网的触角扩展更广。

何谓MEMS技术?

微型机电系统(MEMS)技术是利用半导体制造工艺生产尺寸范围小至一微米至几毫米的小型机械和机电元件。MEMS设备可以从一个相对简单的结构,不需要移动部件,到具有多种运动部件的复杂机电系统。

微电子系统不仅应用于传感器,而且应用于很多领域。除感测传感器外,还用于通讯模组、执行器及资料处理装置。他们全部是微型机械,其组成成分有微米大小(百万分之一米)到毫米。

MEMS设备范围广泛,从不包含任何活动部件的简单机械到有多个可移动部分的复杂机电系统。这类系统有很多种:磁、电、热、化学、光学和机械系统。

生产MEMS设备需要像制造其它半导体电路一样采用很多技术:氧化、扩散、离子注入、低压化学气相淀积(LPCVD)、溅射等。此外,MEMS还采用了一些特殊的微机械加工方法。

MEMS设备比以前实现同样功能的方法要小、成本低、耗电少。他们还非常灵敏和精确。MEMS器件也有极好的可重复性,因而也得益于半导体加工技术中固有的严格误差。

缺点在于,虽然零部件的生产成本很低,但是MEMS产品的设计、鉴定和制造等方面的投资还是相当可观的。因此,制造商不大可能开发用于小批量应用的部件。

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