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通过在物联网中增加更多的设备和应用，MEMS将成为一个更可行的解决方案。
比如MEMS传感器在工业物联网中的许多应用：
采用基于MEMS的3-D陀螺和加速度计，连续测量其角速度和方向变化，替代昂贵的旋转传感器和编码器。他们也能探测到关节和执行机构的过度振动，这些都可能预示着早期故障。
MEMS加速度计能在其它工业设备中检测有害的振动或感应冲击；MEMS压力传感器测量水流量和气压；MEMS气体传感器检测有毒气体排放；MEMS温度传感器是许多工业流程的重要组成部分。
目前，智能微机振荡器已广泛应用于物联网网络基础设施中，监控机器人及其它单元工作的可编程逻辑控制器。该仪器是一种用于人机接口(HMI)显示器。
工厂本身有许多方法来使用MEMS.压力，温度和湿度传感器帮助控制HVAC系统。智能仪表中装有防篡改传感器，MEMS振动传感器有助于在地震时切断供气。
经标定后，采用温度补偿的MEMS传感器对液化气和CNC驱动的汽车进行气压测量，并将产品运送至卸载平台。在产品出厂后，资产追踪系统利用MEMS监测货物的碰撞和振动。
MEMS传感器应用前景值得关注。
无人驾驶的汽车需要许多感应器来与环境交互。感应器也必须尽可能小，以避免占用其它装置(载人和电池)的空间。所以，汽车工业是MEMS传感器生产和使用增长最有希望的领域之一。
以MEMS技术为基础的加速度计具有很高的灵敏度，而且在极其重要的应用场合，如在汽车终端用户内部的气囊激活和车辆稳定性方面。
另一个开发MEMS技术的领域是麦克风。MEMS麦克风可以降低移动电话中所使用的免提装置的大小，并且专门为听力困难的人设计出更加小巧、谨慎的辅助装置。
在生物技术和医学技术方面，最壮观且有趣的应用场景。例如通过照相机和试管，以及用一个小的导引机器人来进行胃肠检查。
