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MEMS压力传感器的应用浅析
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MEMS(微机电系统)是一种集微型传感器、执行器、信号处理与控制电路、接口电路、通讯及电源为一体的微型机电一体化系统。

MEMS压力传感器可采用类似集成电路(IC)设计技术和制造工艺,实现高精度、低成本的大规模生产。这样就为消费类电子与工业过程控制产品以廉价的价格大量使用MEMS传感器打开了大门,使得压力控制变得简单、智能。由于传统的机械压力传感器是以金属弹性体为基础,将机械量的弹性变形成电能量输出,所以它不能像MEMS压力传感器那样小,其成本也远高于MEMS压力传感器。MEMS压力传感器与传统的机械性传感器相比,其体积较小,最大不超过1cm,使得与传统的“机械”制造技术相比性价比大幅提高。

MEMS压力传感器在汽车电子产品中有着广泛的应用:例如TPMS(轮胎压力监测系统),发动机油压传感器,车辆制动系统气压传感器,汽车发动机进气管压力传感器(TMAP),内燃机共轨式压力传感器;消费电子产品,如胎压计,血压计,橱柜,健康秤,洗衣机,洗碗机,冰箱,微波炉,微波炉,吸尘器压力传感器,洗衣机,饮水机,洗碗机,太阳能热水器用水平控制压力传感器;工业电子,例如数字式压力表、数字流量表、工业配料称量等。

典型的MEMS压力传感器管芯可用于制造各种压力传感器产品。MEMS压力传感器管芯可封装在仪器放大器和ADC管芯(MCM)封装中,便于产品设计者使用这种高度集成的产品来设计最终产品。

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