MEMS微机电系统是一种集微型传感器执行器信号处理与控制电路接口电路通讯及电源为一体的微型机电一体化系统MEMS压力传感器可采用类似集成电路IC设计技术和制造工艺,实现高精度低成本的大规模生产这样就为消费类电子与工业过程控制产品以廉价的价格大量使用MEMS传感器打开了大门,使得压力控制变得简单智能由于传统的机械压力传感器是以金属弹性体为基础,将机械量的弹性变形成电能量输出,所以它不能像MEMS压力传感器那样小,其成本也远高于MEMS压力传感器MEMS压力传感器与传统的机械性传感器相比,其体积较小,最大不超过1cm,使得与传统的机械制造技术相比性价比大幅提高MEMS压力传感器在汽车电子产品中有着